[stack#039] 반사 방지막 · 그리기 — 빛으로 무늬를 그릴 때 왜 감광액 밑에 빛을 먹는 층부터 깔까요?

빛으로 무늬를 그릴 때, 왜 감광액 밑에 빛을 먹는 층부터 깔까요?

욕조 물결이 벽에 부딪혀 되돌아오면, 밀려오는 물결과 겹쳐 출렁임이 들쭉날쭉해지죠.

빛은 감광액을 지나 그 아래 판에 닿고, 판은 빛을 일부 되튀깁니다.

판에서 되튄 빛은 무늬가 일그러지고 해상도가 떨어지는 원인이 됩니다.

되튄 빛이 들어오는 빛과 겹쳐, 감광액 속에 밝고 어두운 겹이 생기고 무늬 굵기가 흔들립니다.

이 밝고 어두운 겹을 정재파라고 부릅니다.

무늬 굵기의 흔들림은 반사율이 낮아질수록 줄어듭니다.

그럼 감광액 두께를 딱 맞춰 바르면?

자리마다 두께가 조금씩 달라 굵기가 또 흔들립니다.

감광액 두께에 따라 감도가 진동하듯 바뀌는 현상을 swing curve라고도 부릅니다.

그래서 감광액 밑에 빛을 먹는 층을 깔아, 빛이 판에서 되튀지 않게 합니다.

이 층이 반사 방지막(BARC)입니다.

이 층의 폴리머에는 노광 파장을 흡수하는 발색단이 붙어 있습니다.

가교로 막을 고정해 감광액 용제에 녹지 않게 합니다.

판에서 되튄 빛이 겹쳐 무늬 굵기가 흔들리니, 감광액 밑에 빛을 먹는 층을 깝니다.

결국, 판에서 되튄 빛이 겹쳐 무늬 굵기가 흔들리니 감광액 밑에 빛을 먹는 층을 깐다.

이미지 AI 생성 · 개념도

출처

· https://en.wikipedia.org/wiki/Anti-reflective_coating

· https://en.wikipedia.org/wiki/Photolithography

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