[stack#041] 삼불화질소 · 씻기 — 장비 속을 기체로 씻을 때 왜 잘 쪼개지는 기체를 고를까요?

장비 속을 기체로 씻을 때, 왜 잘 쪼개지는 기체를 고를까요?

장작이 덜 타면 연기가 많이 나고, 잘 타면 연기가 적게 나죠.

씻는 기체를 쪼개면 불소가 나와, 장비 벽에 쌓인 얇은 막을 떼어 냅니다.

이 세정은 원격 플라즈마를 써서 챔버 안쪽 벽에 남은 막을 지웁니다.

쪼개진 기체는 원자 상태의 불소를 내놓습니다.

그런데 덜 쪼개진 기체는 배기로 빠져나가, 온실가스로 남습니다.

덜 쪼개진 채 남은 것은 배출이 되고, 세정 효율도 잃게 합니다.

그럼 다른 불소 기체로 씻으면?

덜 쪼개지는 기체는 더 많이 빠져나갑니다.

이 전환은 덜 쪼개지고 배출이 많은 세정에서, 잘 쪼개지는 세정으로 옮겨 가는 것입니다.

그래서 잘 쪼개지는 기체를 골라, 거의 다 쪼개 씁니다.

이 기체가 삼불화질소(NF3)입니다.

원자 불소를 내놓는 강한 불소원입니다.

챔버 세정과 직접 식각에 쓰이는 핵심 가스입니다.

삼불화질소 자체도 지구온난화지수(GWP)가 높아, 배기를 한 번 더 처리하는 제해(abatement)로 배출을 줄이는 방법이 함께 쓰입니다.

덜 쪼개진 기체는 온실가스로 나가니, 잘 쪼개지는 기체를 씁니다.

결국, 덜 쪼개진 기체는 온실가스로 나가니 잘 쪼개지는 기체를 쓴다.

이미지 AI 생성 · 개념도

출처

· Environmentally friendly wafer production: NF3 remote microwave plasma for chamber cleaning. Microelectronic Engineering (2001).

https://doi.org/10.1016/s0167-9317(00)00505-0

· Nitrogen trifluoride. Wikipedia.

https://en.wikipedia.org/wiki/Nitrogen_trifluoride

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