[stack#023] 아르곤 · 입히기 — 용접에도 반도체 공장에도 쓰는 기체 누가 어디서 만들까요?

용접에도 반도체 공장에도 쓰는 기체, 누가 어디서 만들까요?

아르곤은 반응성이 낮은 불활성 기체입니다.

스퍼터와 플라즈마 점화, 퍼지, 캐리어처럼 여러 곳에 쓰입니다.

숨 쉬는 공기 백 컵이면 한 컵쯤은 아르곤입니다.

그래서 아르곤은 땅에서 캐지 않습니다.

원료는 숨 쉬는 공기입니다.

아르곤은 희유가스에 속합니다.

공기를 아주 차갑게 식히면 섞여 있던 기체가 갈라져 나옵니다.

그럼 아르곤 공장이 따로 있을까요?

질소 · 산소를 만드는 곳에서 함께 나옵니다.

그래서 산업가스 회사가 공기를 나눕니다.

반도체 공장 곁에 설비를 두기도 합니다.

이 설비를 공기분리 설비, 영어 약자로 ASU라고 부릅니다.

아르곤은 이 공정으로 대량 생산됩니다.

물과 산소가 아주 조금만 섞여도 스퍼터로 입힌 막의 산화와 결함에 영향을 줍니다.

범용 아르곤에서 전자급 초고순도, 현장 공급(on-site) 아르곤으로 바뀌는 전환이 있습니다.

아르곤은 공기에 섞여 있어 캐지 않고 공기를 나누는 곳에서 함께 나옵니다.

결국, 아르곤은 공기에 섞여 있어 캐지 않고 공기를 나누는 곳에서 함께 나온다.

이미지 AI 생성 · 개념도

출처

· Fundamentals of sputtering and plasma processing: the role of argon working gas. review (스퍼터·플라즈마 기초) (2005).

https://en.wikipedia.org/wiki/Sputter_deposition

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