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[stack#020] 귀금속 타깃 · 입히기 — 두들겨 쓰고 남은 금속 덩어리 왜 버리지 않고 다시 거둬들일까요?반도체 소재 도감 2026. 10. 17. 11:08반응형

두들겨 쓰고 남은 금속 덩어리 왜 버리지 않고 다시 거둬들일까요?
이 금속 덩어리는 순도와 밀도, 그리고 회수가 핵심인 소재입니다.

금을 다루는 공방은 바닥의 금가루까지 쓸어 모으죠.

칩 속 금속막에는 비싼 금속도 씁니다.
비싼 금속 덩어리 판을 때려서 입힙니다.
칩 속 귀금속 막은 캐패시터 전극과 배선, 라이너에 쓰이는 얇은 막입니다.
비싼 금속으로는 루테늄과 백금 같은 백금족 금속을 씁니다.
때리는 쪽은 가속된 이온이고, 부딪히면 판 표면의 원자가 튕겨 나와 기판에 쌓입니다.

그런데 맞는 자리가 먼저 파여 나가 다 쓴 판에도 금속이 남습니다.

그럼 다 쓴 판은 버리면 될까요?
버린 만큼 비싼 금속을 잃습니다.
이런 비싼 금속은 판을 얼마나 쓰는지와 회수가 중요하게 다뤄집니다.

그래서 다 쓴 판을 버리지 않고 모아 남은 금속을 거둬들입니다.
비싼 금속 덩어리 판, 귀금속 타깃입니다.
회수하는 방식은 경제성과 공급을 안정시키는 데 핵심입니다.
이 판은 백금족 금속을 고순도로 소결한 덩어리입니다.

다 못 쓴 비싼 금속은 버리면 잃으니 남은 것까지 거둬들입니다.

결국, 다 못 쓴 비싼 금속은 버리면 잃으니 남은 것까지 거둬들인다.
이미지 AI 생성 · 개념도
출처
· Atomic Layer Deposition: An Overview. Chemical Reviews (ACS) (2010).
https://doi.org/10.1021/cr900056b
· Nucleation of Co and Ru Precursors on Silicon with Different Surface Terminations: Impact on Nucleation Delay. Journal of Physical Chemistry C (ACS) (2023).
https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.3c02933
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