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[stack#014] 다이아몬드 컨디셔너 · 갈기 — 갈아 내는 데 쓰는 패드를 왜 일부러 긁을까요?반도체 소재 도감 2026. 10. 17. 10:50반응형

갈아 내는 데 쓰는 패드를 왜 일부러 긁을까요?
이 패드는 발포 폴리우레탄으로 만듭니다.

무뎌진 칼은 숫돌에 갈아야 다시 잘 듭니다.

둥근 판은 연마 패드에 눌려 갈립니다.
표면 구멍과 홈이 가루 물을 나릅니다.
패드의 단단함과 구멍, 눌리는 정도가 갈리는 속도와 균일도, 결함을 좌우합니다.
구멍이 얼마나 있느냐에 따라 패드가 가루 물을 머금고 나르는 정도가 달라집니다.
패드는 둥근 판에 압력을 전해 주는 면이기도 합니다.

그런데 쓸수록 연마 패드 표면이 눌려서 반들반들해집니다.

그럼 매끈할수록 더 곱게 갈까요?
반들해진 면은 오히려 덜 갈아 냅니다.

그래서 다이아몬드 알갱이 박힌 디스크로 긁어서 가루 물을 나르는 결을 되살립니다.
이 디스크를 컨디셔너라고 부릅니다.
컨디셔너는 패드 표면을 아주 조금씩 긁어 반들해진 층을 없앱니다.
다이아몬드 알갱이는 금속 본드 층에 고정되어 있고, 컨디셔너는 소모성 부품입니다.
현업에서는 컨디셔너를 드레서라고도 부릅니다.

쓸수록 반들해져 덜 갈아 내니 연마 패드를 긁어 결을 되살립니다.

결국, 쓸수록 반들해져 덜 갈아 내니 연마 패드를 긁어 결을 되살린다.
이미지 AI 생성 · 개념도
출처
· https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.08.007
· https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.10.116
· Characterization and dressing effect of CMP diamond disc conditioner with ordered abrasive distribution. Int. J. Advanced Manufacturing Technology (Springer) (2023).
https://doi.org/10.1007/s00170-023-11965-2
· Effect of Polishing Pad Material Properties on Chemical Mechanical Polishing (CMP) Processes. MRS Online Proceedings Library (1994).
https://doi.org/10.1557/PROC-337-637
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