반도체화학 기말시험(2014.06.12)

반도체화학 기말시험(2014.06.12)

 

1.     반도체 및 반도체 공정에 관련된 다음 용어의 Full Name을 적어라. (4점*5 = 20점)

(1)   FRAM

 

(2)   FOX

 

(3)   MOCVD

 

(4)   RIE

 

(5)   SOG

 

2.     객관식 문제 (3점 * 6 = 18점)

 

(1)   다음중 step coverage가 가장 뛰어난 증착법은?

①    MOCVD

②    Sputtering Method

③    Sol-gel method

④    전기 도금

 

(2)   상온에서 defect의 수가 가장 적을 것으로 판단되는 물질은?

① Mn

② ZnS

③ MgO

④ AgCl

⑤ CaF2

 

(3)   다음 중 n-type semiconductor를 모두 고르라.

① MoO3

② PbO

③ NiO

④ Fe2O3

 

(4)   다음 중 p-type semiconductor를 모두 고르라

① SnO2

② PbO

③ Sb2O3

④ CuO

 

(5)   다음 중 Anode에 해당하는 것을 모두 고르라.

① Daniel 전지에서 Zn 전극

② 연료감응 태양전지에서 Pt/FTO 전국

③ 유기태양전지 (ITO/PEDOT/PCBM/Al)에서 Al 전극

④ Perovskite solid-state solar cell에서 Au 전극

 

3.     반도체에 관련된 다음 질문에 답하라. (4점*7=28점)

(1)   “ONO”란 무엇인가?

 

(2)   반도체 Lithography 공정에서 “I-Line”이란 무엇인가?

 

(3)   Positive PR과 Negative PR에서 이용되는 develop solution을 각각 밝혀라

 

(4)   Lithography 후 얻어진 pattern 구조를 hard baking 한다. Hard baking하는 가장 큰 이유를 한가지 들라.

 

(5)   Lift -off process를 적용하려면, 어떤 전제조건이 필요한가?

 

(6)   Clean room의 quality를 평가하고자 한다. Class 100란 무엇인가?

 

(7)   Metric system에서 M3은 English system에서는 어떻게 표기할 수 있는가? (Clean room에 관한 질문)

 

4.     다음 질문에 답하라. (4점 * 7 = 28점)

(1)   Quantum-dot sensitized solar cell에서 electrolyte으로는 Na2S/S가 사용된다. Counter electrode에서 일어나는 반쪽 반응을 써라.

 

(2)   TiO2 광촉매를 이용하여 수소를 제조한다. Valence band와 Conduction band에서 일어나는 반쪽반응을 각각 써라.

 

(3)   어느 이온고체의 ionic conductivity가 증가되려면 다음 항목들은 어떤 방향으로 조정되어야 하는가?(증가/감소로

표기)

① cation charge

② cation의 CN

③ polarizability of anion

④ size of anion

 

(4)   Nd:YAG laser는 4-step lasing system에 속한다. Lasing을 일으키는 프로세스를 그림을 그려 설명하라.

 

(5)   Tandem solar cell이란 무엇인가? 또한, tandem solar cell을 제작하는 이유는 무엇인가?

 

(6)   어떤 OLED는 Al/EML/HTL/ITO/Glass로 구성되어 있다. 여기서 EML과 HTL은 각각 어떤 역할을 하는가?

 

(7)   (6)의 문제에서, EML로 사용되는 물질 한가지를 들라. 또한, Al은 anode와 cathode 중 어느 것에 해당되는 것?

 

5. 반도체에서 defect에 관한 질문에 답하라. (4*6=24점)

(1) 300K에서의 Schottky defect 수는(△Hs = 2* 10^-19J)?

 

(2) 문제(1)에서, 1000K에서의 Schottky defect는 300K에서보다 몇 배로 생성이 되는가?

 

(3) Solid Electrolyte의 온도에 따른 이온전도성은 intrinsic region과 extrinsic region에서는 각각 어떤 식으로 표현되는

가?

 

(4) 문제(3)에서 lnσ vs. 1/T의 그래프를 그리고, 각각의 영역에서 slope가 나타내는 것은 무엇인가?

 

(5) CaO에 Na를 몰분율 0.1만큼 도핑시켰다. Chemical formular를 작성하라. 또한, Oxygen vacancy는 얼마 만큼 생기는

가?

 

(6) α-AgI 구조에서 Ag+의 diffusion 경로를 설명하고, coordination number가 변하는 과정을 밝혀라.